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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > Rigaku理學(xué) > 半導(dǎo)體測量設(shè)備 > XRTmicron玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度測角儀
產(chǎn)品型號：XRTmicron廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2024-09-29訪 問 量：397
產(chǎn)品分類
CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度測角儀
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度測角儀
該形貌測量系統(tǒng)通過采用新型高亮度微型射線光源、特殊的射線鏡面光學(xué)系統(tǒng)以及高分辨率、高分辨率的X射線相機(jī)，可以將測量時間縮短一個數(shù)量級與傳統(tǒng)方法相比。從樣品設(shè)置到測量的一切都可以自動完成。
它可以無損檢測晶體缺陷，例如位錯、表面穿透位錯以及外延層缺陷。適用于Si、SiC、GaN、Ge、GaAs、石英、LN、LT、藍(lán)寶石、金紅石、螢石等各種單晶材料。
用于透射形貌圖的Mo射線源和用于反射形貌圖的Cu射線源可以通過計算機(jī)控制進(jìn)行切換。
使用多層膜平行光束準(zhǔn)直器生成單色/平行光束。
高度平行的 X 射線束使我們能夠獲得對晶格畸變敏感的反射形貌。
您可以通過計算機(jī)輕松地在觀察晶體內(nèi)部的透射形貌圖和觀察表面附近缺陷的反射形貌圖之間進(jìn)行切換。
使用高分辨率 X 射線 CCD 相機(jī)采集數(shù)字圖像。
使用形貌圖像的晶體缺陷分析軟件。
兼容各種晶圓尺寸。兼容 3、4、6、8、12 和 18 英寸。
它可以水平放置樣品，還可以自動傳輸 3、4、6、8 和 12 英寸晶圓。
自動曲率校正機(jī)制甚至可以根據(jù)曲率程度拍攝彎曲的晶體。
| 產(chǎn)品名稱 | XRT微米 | |
|---|---|---|
| 方法 | 射線形貌成像 | |
| 目的 | 單晶材料的無損評價 | |
| 技術(shù) | 在透射和反射形貌之間切換 | |
| 主要部件 | 高亮度微型X射線光源、專用X射線鏡光學(xué)系統(tǒng)、高分辨率/高分辨率X射線相機(jī) | |
| 選項(xiàng) | HR-XTOP 相機(jī)、晶體準(zhǔn)直器、傳送帶、晶體缺陷軟件 | |
| 控制（電腦） | 外部 PC、MS Windows® 操作系統(tǒng) | |
| 機(jī)身尺寸 | 1800（寬）×1980（高）×1950（深）（毫米） | |
| 大量的 | 約2200公斤（本體） | |
| 電源要求 | 三相200V，15A | |
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