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HOBIBA堀場玉科全新自動范圍切換濃度監(jiān)測器
簡要描述：

HOBIBA堀場HF-960EM玉科全新自動范圍切換濃度監(jiān)測器
HOBIBA堀場玉科全新自動范圍切換濃度監(jiān)測器

  • 產(chǎn)品型號：HF-960EM
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2025-02-12
  • 訪  問  量：208

詳細介紹

HOBIBA堀場玉科全新自動范圍切換濃度監(jiān)測器

HOBIBA堀場玉科全新自動范圍切換濃度監(jiān)測器


在線傳感器和自動范圍切換濃度監(jiān)測器

HF-960EM 系列

符合半導(dǎo)體工藝衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的氫氟酸濃度監(jiān)測儀。

傳感器與 PFA（全氟烷氧基）接液部件相結(jié)合，尺寸優(yōu)化到絕對極限。它還可以處理高達 50% HF 濃度的大范圍測量，符合半導(dǎo)體工藝的衛(wèi)生要求。

寬范圍兼容

從低濃度到高濃度（高達 50% HF 濃度）的自動量程功能可在每個目標(biāo)濃度下實現(xiàn)最佳測量性能。

無污染

采用具有衛(wèi)生結(jié)構(gòu)的傳感器，僅使用 PFA 作為接液材料。作為一種耐化學(xué)腐蝕的傳感器，它能夠測量半導(dǎo)體工藝中使用的各種化學(xué)品。

高穩(wěn)定性/再現(xiàn)性精度

它實現(xiàn)了 ±0.5% FS 的重現(xiàn)精度。

HF-960EM 規(guī)格
型號名稱HF-960EM 系列
測量范圍HF： 0 - 50%， HCl： 0 - 10%， 電導(dǎo)率： 0 - 2000 mS/cm
重復(fù)性+/- 0.5% F.S.（等效輸入）
線性+/- 0.5% F.S.（等效輸入）
傳輸輸出輸出數(shù)量：4
觸點輸出輸出：5 點
通信輸出RS-485 系列
電源直流 24 伏 +/- 10% 15W
兼容的傳感器CM-520 系列
傳感器的接液材料PFA 系列


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