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Osaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵
簡要描述：

Osaka Vacuum大阪真空TG50F小型復(fù)合分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵
特點(diǎn)：
輕巧設(shè)計(jì)
節(jié)能
迅速啟動(dòng)
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強(qiáng)
多種通信模式

  • 產(chǎn)品型號(hào)：TG50F
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2025-04-19
  • 訪  問  量：94

詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵

Osaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵


  • 全面安裝

  • 輕巧設(shè)計(jì)

  • 節(jié)能

  • 迅速啟動(dòng)

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大氣沖擊能力強(qiáng)

  • 多種通信模式

用途

  • 半導(dǎo)體制造

  • 電子槍排氣，離子源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理，表面改質(zhì)

  • 各種電子部件的制造

  • 分析，試驗(yàn)裝置

  • 管球制造，光學(xué)部件制造

  • 加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究開發(fā)

※排放腐蝕性氣體時(shí)，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。


吸氣口法蘭VG65/ISO-R63/CF63
排氣速度N2 (L/s)51
N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s)49
H2 (L/s)12
最大壓縮比N21.4×107
H25×102
極限壓力VG?ISO-R/CF (Pa)<3×10-6
VG?ISO-R/CF (Torr)<2.3×10-8
最大氣體流量※1N2 (sccm)80
啟動(dòng)時(shí)間(min) 1-1.5
停止時(shí)間(min)1-1.5
允許輔助壓力(Pa/Torr)1330/10
推薦輔助泵(L/min)≧50
安裝角度任意
重量VG?ISO-R/CF(kg)4.2/6

  • ※1：輔助泵的容量是100L/min情況下的最大容許流量

  • [ 使用環(huán)境溫度 ]

  • 極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時(shí)容許冷卻水溫是10～35℃。

  • [ 對應(yīng)氣體種類 ]

  • 由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對應(yīng)的氣體種類請咨詢銷售人員。


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