Osaka大阪真空TG390M磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵
Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵

特點(diǎn)：
■輕巧設(shè)計(jì)
　■節(jié)能
　■分子泵停止與啟動(dòng)時(shí)間短
　■附帶維護(hù)警報(bào)機(jī)能
　■低振動(dòng)
　■無需調(diào)整
　■自動(dòng)校準(zhǔn)
　■可控制轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度
　■大流量排氣
　■多種通信模式
　■符合安全規(guī)格　NRTL/SEMI-S2/CE

產(chǎn)品型號(hào)：TG390M
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-04-19
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Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵

■輕巧設(shè)計(jì)
　■節(jié)能
　■分子泵停止與啟動(dòng)時(shí)間短
　■附帶維護(hù)警報(bào)機(jī)能
　■低振動(dòng)
　■無需調(diào)整
　■自動(dòng)校準(zhǔn)
　■可控制轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度
　■大流量排氣
　■多種通信模式
　■符合安全規(guī)格　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

?半導(dǎo)體制造

?電子槍排氣，離子源排氣
?FPD制造
?表面處理，表面改質(zhì)
?各種電子部件的制造
?分析，試驗(yàn)裝置
?管球制造，光學(xué)部件制造
?加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
?熱處理
?研究開發(fā)

吸氣口法蘭		VG100 CF100 ISO-B100
排氣速度	N2 (L/s)	340
	N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s)	320
	H2 (L/s)	290
最大壓縮比	N2	1×108
最大壓縮比	H2	4.5×103
極限壓力	VG?ISO-B/CF (Pa)	<1×10-6 / <1×10-7
極限壓力	VG?ISO-B/CF (Torr)	<7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大氣體流量※1	N2 (sccm)	2000
啟動(dòng)時(shí)間	(min)	2~3
停止時(shí)間	(min)	4~5
允許輔助壓力	(Pa / Torr)	400 / 3
推薦輔助泵	(L/min)	≧160
安裝角度		任意
重量	VG?ISO-B/CF(kg)	14/17
特殊規(guī)格		-耐腐蝕型 -耐反應(yīng)生成物型 TG-MI -極低振動(dòng)型 TG-ML

※1：輔助泵的容量是320L/min情況下的最大容許流量
[ 使用周囲溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時(shí)容許冷卻水溫是10～35℃。
[ 對(duì)應(yīng)氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。
關(guān)于對(duì)應(yīng)的氣體種類請(qǐng)咨詢銷售人員。

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