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玉崎科學ONYX 3200半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku光學工具 玉崎科學半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku光學工具 內(nèi)聯(lián)雙頭微點 XRF 無損晶圓檢測和計量 雙 X 射線源（多毛細管/單色）， 適用于最大 300 mm 的晶圓

玉崎科學ONYX 3000半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku光學工具 玉崎科學半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku光學工具 混合 XRF 和光學計量 FAB 工具 能量色散X射線熒光光譜儀（ED-XRF），能夠以無損、非接觸的方式同時分析300mm和200mm晶圓上各種薄膜的厚度和成分。