在精密制造和科研領(lǐng)域，真空技術(shù)的潔凈與可靠性直接決定工藝成果的品質(zhì)，而磁力耦合技術(shù)正是實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的關(guān)鍵創(chuàng)新。

在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造、化工工藝和科研實(shí)驗(yàn)中，真空泵的性能可靠性和潔凈度直接關(guān)系到生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品的質(zhì)量。傳統(tǒng)真空泵采用的軸封動態(tài)密封方式難以避免潤滑油的泄漏問題，不僅污染環(huán)境，更可能對精密生產(chǎn)工藝造成嚴(yán)重影響。

日本ULVAC愛發(fā)科開發(fā)的GHD-101油回轉(zhuǎn)真空泵磁力耦合器，通過磁力耦合傳動技術(shù)實(shí)現(xiàn)了動力傳輸?shù)拿芊猓瑥母旧辖鉀Q了泄漏難題，為要求嚴(yán)苛的工業(yè)環(huán)境提供了可靠的真空解決方案。

01 磁力耦合技術(shù)：真空泵傳動的革新設(shè)計(jì)

磁力耦合器是GHD-101真空泵的核心技術(shù)，它改變了傳統(tǒng)的機(jī)械接觸式傳動方式。這種創(chuàng)新設(shè)計(jì)通過非接觸式的磁力傳動，將動力從電機(jī)傳遞至泵體。

其工作原理是利用永磁體的磁場耦合作用實(shí)現(xiàn)扭矩傳遞。內(nèi)外磁鋼轉(zhuǎn)子被隔離罩分開，形成靜態(tài)密封。這種設(shè)計(jì)使得電機(jī)軸與泵軸之間無需物理連接，卻能高效傳遞動力。

磁力耦合器規(guī)格是GHD系列產(chǎn)品的標(biāo)志性特點(diǎn)，它實(shí)現(xiàn)了動力傳輸部分的無油滲漏，顯著提高了設(shè)備的可靠性并延長了使用壽命。

與傳統(tǒng)的軸封設(shè)計(jì)相比，磁力耦合技術(shù)消除了磨損導(dǎo)致的泄漏路徑，使得GHD-101特別適合對潔凈度要求高的應(yīng)用場景。

02 產(chǎn)品概述：高性能與可靠性的結(jié)合

GHD-101是ULVAC愛發(fā)科油回轉(zhuǎn)真空泵系列中的磁力耦合器規(guī)格產(chǎn)品，它屬于使用潤滑油的旋片式真空泵。

該產(chǎn)品以其高性能、低噪音和高可靠性著稱，是精密制造和實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中獲取中低真空的理想設(shè)備。

GHD-101具備大范圍電壓馬達(dá)，已取得CE，cTUVus等國際安全認(rèn)證，滿足全球不同地區(qū)的用電標(biāo)準(zhǔn)。這種寬電壓設(shè)計(jì)使得設(shè)備能夠適應(yīng)電壓波動，保證在不穩(wěn)定電網(wǎng)環(huán)境下的持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。

該真空泵還配備了防逆流機(jī)構(gòu)，有效防止泵停止工作時油品反向流動，進(jìn)一步增強(qiáng)了設(shè)備的可靠性和潔凈度。

03 核心技術(shù)參數(shù)：性能的量化體現(xiàn)

GHD-101油回轉(zhuǎn)真空泵在性能參數(shù)上表現(xiàn)出色，能夠滿足大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用的需求。

在抽速性能方面，該泵在50Hz電源下實(shí)際抽速為100L/min，在60Hz環(huán)境下可達(dá)120L/min，展現(xiàn)出良好的適應(yīng)性和穩(wěn)定的抽氣效率。

其極限壓力可達(dá)到0.67Pa（通過皮拉尼表測量），在氣鎮(zhèn)閥開啟狀態(tài)下，極限壓力為6.7Pa，這一性能指標(biāo)足以應(yīng)對多數(shù)工業(yè)場景的真空需求。

該設(shè)備配備300W電機(jī)，油箱容量為1000mL，使用ULVAC專用的R-2真空泵油，確保最佳的性能和壽命。

在物理特性方面，GHD-101重量為22kg，進(jìn)出口管道直徑為KF-25和G1，外形尺寸為150mm(寬) × 413.5mm(長) × 234.5mm(高)，結(jié)構(gòu)緊湊，便于集成到各類設(shè)備中。

04 應(yīng)用優(yōu)勢：多領(lǐng)域適用的技術(shù)特色

GHD-101磁力耦合器真空泵憑借其獨(dú)特的技術(shù)特點(diǎn)，在多個應(yīng)用領(lǐng)域展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢。

1. 零泄漏保障

   磁力耦合器技術(shù)消除了軸封部位的油滲漏可能性。這一特性使得GHD-101特別適合半導(dǎo)體、藥品生產(chǎn)等對潔凈度要求高的行業(yè)，避免油污污染工藝環(huán)境。

2. 低維護(hù)需求

   非接觸式的傳動方式減少了機(jī)械磨損，顯著降低了設(shè)備的維護(hù)頻率和維護(hù)成本。與傳統(tǒng)真空泵相比，GHD-101無需定期更換軸封部件，減少了停機(jī)時間和備件庫存。

3. 環(huán)境友好

   密封的設(shè)計(jì)不僅防止了油品泄漏對環(huán)境的影響，也減少了真空泵油的消耗量。這符合現(xiàn)代工業(yè)對環(huán)保和可持續(xù)發(fā)展的要求，幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)更綠色的制造流程。

4. 寬電壓適應(yīng)性

   支持多種電壓輸入（100V，115-120V，200V，220-240V），使GHD-101能夠無縫部署于全球各地的生產(chǎn)設(shè)施，無需擔(dān)心電源兼容性問題。

05 操作與維護(hù)：確保設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行

正確的操作和定期維護(hù)是保證GHD-101真空泵長期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。

安裝調(diào)試時，需確保設(shè)備放置在水平堅(jiān)固的表面，環(huán)境溫度保持在7-40℃范圍內(nèi)。設(shè)備為室內(nèi)專用設(shè)計(jì)，嚴(yán)禁暴露于雨水或室外環(huán)境中。

日常操作中，操作人員應(yīng)定期檢查油位和油質(zhì)，真空泵油在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中會逐漸變質(zhì)，導(dǎo)致性能下降。發(fā)現(xiàn)油品污染或不足時，應(yīng)及時補(bǔ)充或更換。

磁力耦合器部分雖無需定期更換易損件，但仍需注意工作環(huán)境，避免鐵磁性物質(zhì)靠近強(qiáng)磁場區(qū)域。當(dāng)設(shè)備長期運(yùn)行后出現(xiàn)異常摩擦聲，可能是內(nèi)部軸承磨損，需及時檢查更換。

在安全方面，雖然GHD-101配備了防返油機(jī)構(gòu)，但制造商明確說明該機(jī)構(gòu)不能保證100%防止回流。在精密應(yīng)用中，建議采取額外的防護(hù)措施。

接近大氣壓運(yùn)轉(zhuǎn)時，排氣口容易產(chǎn)生油煙（油霧），在潔凈環(huán)境使用時應(yīng)考慮額外的處理措施。

從半導(dǎo)體晶圓制造到精密儀器生產(chǎn)，ULVAC愛發(fā)科GHD-101油回轉(zhuǎn)真空泵磁力耦合器以其的零泄漏特性和穩(wěn)定的抽氣性能，正在成為制造領(lǐng)域的基礎(chǔ)設(shè)備。

隨著工業(yè)技術(shù)對潔凈環(huán)境要求日益嚴(yán)格，磁力耦合技術(shù)代表的非接觸式傳動方案將成為真空設(shè)備的主流發(fā)展方向，為下一代精密制造奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。