在半導體制造的潔凈室里，一滴微小的液體偏差可能導致整批晶圓的失效。HORIBA數字式液體質量流量計，正是為此類精密場景而生的流體控制核心部件。

在現代工業(yè)領域，尤其是半導體制造、化工和生物醫(yī)藥等行業(yè)，對液體流量的精確控制直接關系到產品質量與生產效率。日本HORIBA（堀場）憑借其深厚的測量技術積累，推出的數字式液體質量流量計，特別是XF-100系列，以其的精度和響應速度，已成為高要求工業(yè)環(huán)境中流體控制的關鍵設備。

01 產品概述：為精密工業(yè)而生

HORIBA XF-100系列數字式液體質量流量計，是專為半導體制造、化學機械拋光（CMP）以及高純化學品控制等領域設計的高精度測量儀表。

該系列產品采用差壓測量原理，能夠直接測量液體的質量流量，避免了傳統體積流量計需要補償溫度和壓力變化的繁瑣過程。

其創(chuàng)新的設計實現了100毫秒的高速響應能力（與壓電閥結合使用時小于0.8秒），滿足了現代工業(yè)對過程控制精度的苛刻要求。

02 技術原理：差壓法的創(chuàng)新應用

HORIBA XF-100系列流量計的核心技術在于其對哈根-波伊修定律（Hagen-Poiseuille） 的創(chuàng)新應用。

通過測量流體在流經特定結構時產生的壓差變化，結合材料物性補償技術，計算出精確的質量流量值。

這種基于物理原理的測量方法，確保了設備在長期使用中的穩(wěn)定性與可靠性，同時避免了機械運動部件可能帶來的污染風險，特別適合高純應用場景。

03 系列產品與關鍵技術參數

XF-100系列包含多種型號（如XF122、XF132、XF124、XF134等），以滿足不同工業(yè)場景的需求。

不同型號在流量范圍、連接方式和適用介質上各有側重，為用戶提供了靈活的選擇空間。

下表對比了XF-100系列的主要技術參數：

除了上述基本參數，XF-100系列流量計還具備超潔凈特性，其單通道流動結構能有效抑制氣泡滯留，提升流量檢測的穩(wěn)定性。

04 核心優(yōu)勢與技術特點

HORIBA數字式液體質量流量計在精密流體控制領域展現出多重技術優(yōu)勢，使其成為高要求工業(yè)應用的理想選擇。

高精度與快速響應

XF-100系列流量計實現了±0.8% F.S. 的高精度測量，結合100毫秒的快速響應能力，能迅速捕捉并反饋流量變化，確保工藝過程的穩(wěn)定性。

這種高速高精度的特性，對于半導體制造中如薄膜沉積、刻蝕等對時間參數敏感的關鍵工藝尤為重要。

超潔凈設計

設備采用無機械運動部件、無油封的設計理念，從根本上避免了因設備磨損導致的化學品污染。

這一特性使其特別適合于高純化學品控制場景，如CMP拋光液輸送、OLED顯示器生產中的精密液體輸送等。

強大的系統兼容性

XF-100系列支持多種通信接口，包括模擬輸出（0-5V）、RS-485數字通信和DeviceNet等，便于與現有工業(yè)控制系統集成。

這種靈活性允許用戶輕松將流量計集成到自動化控制系統中，實現實時數據監(jiān)控與工藝參數調整，提升整體生產效率。

廣泛的介質適應性

該系列流量計適用于多種非腐蝕性液體，只要液體粘度不超過10 cP。

寬泛的介質適應性使其不僅適用于半導體行業(yè)，也能滿足醫(yī)藥與化學試劑精準輸送與配比的需求。

05 主要應用場景

HORIBA數字式液體質量流量計憑借其精密控制能力，在多個工業(yè)領域發(fā)揮著關鍵作用：

• 半導體制造：用于薄膜沉積、刻蝕、清洗等工藝中的高純化學品輸送，確保工藝液體流量的精確控制。

• 化學機械拋光：在CMP過程中精準控制拋光液流量，保證晶圓表面的平坦化質量。

• 顯示面板制造：用于OLED顯示器生產過程中的精密液體材料輸送，確保顯示器件性能一致性。

• 醫(yī)藥與化工：在醫(yī)藥和化工領域，用于精密流體輸送系統和化學試劑的精確配比，保證產品質量穩(wěn)定性。

06 選型與安裝考量

在選擇合適的HORIBA數字式液體質量流量計時，需綜合考慮以下因素：

流量范圍是首要考慮因素，應根據工藝需求在0.2-30g/min范圍內選擇合適的型號。

連接方式也是選型關鍵，XF-100系列提供Compression、VCO/VCR等多種終端配件選項，需根據現有管道系統選擇兼容的連接方式。

安裝時需注意介質特性，確保待測液體為非腐蝕性且粘度不超過10 cP，以保證測量精度和設備壽命。

此外，電氣接口也需要提前規(guī)劃，根據控制系統要求選擇模擬電壓輸出或數字通信接口。

07 市場定位與價值

HORIBA XF-100系列數字式液體質量流量計在工業(yè)市場中定位中，參考價格約在18000-25000元/個。

這一價格定位反映了其在精密控制領域的技術價值，為用戶提供了性價比高的精密流體控制解決方案。

相較于傳統流量計，HORIBA產品的數字化設置消除了人為讀數誤差，高速響應能力提升了工藝效率，超潔凈設計則降低了污染風險，從多方面為用戶創(chuàng)造價值。

隨著半導體、顯示面板等精密制造業(yè)的持續(xù)發(fā)展，對流體控制精度的要求將愈發(fā)嚴格。HORIBA數字式液體質量流量計憑借其精確的測量能力、快速的響應特性和可靠的性能表現，將繼續(xù)在高科技制造領域扮演的角色。

未來，隨著工業(yè)4.0概念的深入實施，支持多種數字通信的智能型號將成為市場主流，為制造業(yè)的智能化升級提供有力支持。