在半導體制造、精密化工等領域，ULVAC機械增壓泵以其性能，成為高真空環(huán)境創(chuàng)造與維持的關鍵技術。

在現(xiàn)代科技產(chǎn)業(yè)中，真空技術是半導體、液晶制造、精密化工和科研領域的核心支撐。機械增壓泵，又稱羅茨泵，作為中真空范圍的關鍵設備，其性能直接關系到整個真空系統(tǒng)的效率和穩(wěn)定性。

日本ULVAC愛發(fā)科作為真空技術的企業(yè)，其機械增壓泵產(chǎn)品憑借獨特的設計理念和精密的制造工藝，在制造領域占據(jù)了重要地位。

01 技術原理：機械增壓泵的工作奧秘

機械增壓泵，本質(zhì)上是一種容積式泵，通過兩個8字形轉子在泵腔內(nèi)同步反向旋轉來實現(xiàn)氣體的輸送與壓縮。

這兩個轉子由高精度齒輪傳動保持嚴格的同步，它們之間及與泵殼之間保持極小的間隙，卻無需直接接觸。

當轉子旋轉時，氣體從進氣口被吸入轉子與泵殼之間的空間，隨著轉子的轉動，氣體被隔離并推向排氣口。在此過程中，氣體體積被壓縮，壓力升高，從而實現(xiàn)排氣功能。

ULVAC機械增壓泵的獨特之處在于其精密的間隙控制技術，這不僅減少了內(nèi)部泄漏，提高了容積效率，還確保了泵在高速運轉下的可靠性。

02 產(chǎn)品系列：滿足多元需求的全面解決方案

ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵擁有多個產(chǎn)品系列，每個系列針對不同的應用場景和需求而設計。

PMB系列是ULVAC的通用型機械增壓泵，適用于大多數(shù)工業(yè)環(huán)境。該系列提供從PMB-040C到PMB-060C等多種型號，排氣速度從3，800立方米/小時到6，200立方米/小時不等。

PMB系列具有堅固耐用的設計，采用皮帶驅動的低速機械增壓泵，能與搖擺活塞式油回轉真空泵配合。

PMB-D系列作為PMB的升級版本，引入了多項創(chuàng)新特性。該系列包括PMB100D到PMB2400D等多種型號，大排氣速度從95立方米/小時到2，500立方米/小時不等。

PMB-D系列的突出特點是可選擇表面處理和常壓驅動型，也能實現(xiàn)空冷運行，大大提升了應用靈活性。

PRC系列則是專為半導體和液晶制造工藝設計的清潔型機械增壓泵。該系列采用封閉式電機，消除了軸封部分的漏油現(xiàn)象，保證了無油蒸汽的清潔環(huán)境。

PRC系列提供PRC-003A到PRC-018A等型號，排氣速度從280立方米/小時到1，500立方米/小時。

03 性能特點：技術優(yōu)勢解析

ULVAC機械增壓泵具有多項性能優(yōu)勢，使其在工業(yè)應用中表現(xiàn)。

無油設計是ULVAC機械增壓泵的核心優(yōu)勢之一。由于泵殼室內(nèi)沒有潤滑油，即使面對水蒸氣、溶劑等蒸汽也能發(fā)揮穩(wěn)定的性能。這一特性使得ULVAC泵在化工、鍍膜等對油污染敏感的應用中尤為重要。

靈活的排氣方向選擇大大提升了設備設計的自由度，使設備布局可以更加緊湊。這種設計靈活性使得ULVAC機械增壓泵能夠適應各種復雜的工業(yè)現(xiàn)場布局要求。

耐腐蝕表面處理是ULVAC機械增壓泵的另一大亮點。主要部件經(jīng)過陽極氧化處理，表面硬度高，耐腐蝕性優(yōu)異，能有效防止泵內(nèi)部劃傷和腐蝕。對于處理腐蝕性氣體的應用環(huán)境，這一特性顯著延長了泵的使用壽命。

大氣壓驅動能力通過安裝變頻器實現(xiàn)，可以在整個壓力范圍內(nèi)運行，大幅縮短排氣時間。由于可與低真空泵同時啟動，與標準型相比，能有效縮短排氣時間，提高生產(chǎn)效率。

ULVAC機械增壓泵還采用封閉式電機設計，特別是PRC系列，通過采用封閉式電機，消除了大氣/真空的機械密封，用戶可以在干凈的環(huán)境中使用，不用擔心漏油問題。

04 應用領域：廣泛工業(yè)場景的真空解決方案

ULVAC機械增壓泵憑借其性能，在多個工業(yè)領域找到了用武之地。

在半導體和液晶顯示器制造過程中，ULVAC的PRC系列機械增壓泵發(fā)揮著不可替代的作用。其無油蒸汽特性防止了產(chǎn)品污染，封閉式電機設計確保了生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度。

真空鍍膜應用，包括沉積、濺射和離子鍍等工藝，都離不開ULVAC機械增壓泵的支持。在這些過程中，機械增壓泵協(xié)助創(chuàng)造并維持所需的高真空環(huán)境，確保鍍膜質(zhì)量均勻一致。

在真空熱處理領域，ULVAC機械增壓泵用于熱處理爐、熔煉爐的排氣系統(tǒng)。其高排氣速度和穩(wěn)定的性能確保了熱處理過程的有效性，提高了產(chǎn)品質(zhì)量。

化工和制藥行業(yè)同樣廣泛應用ULVAC機械增壓泵，特別是在真空干燥、冷凍干燥和真空脫氣等工藝中。其耐腐蝕設計能夠應對各種化學蒸汽，確保長期穩(wěn)定運行。

ULVAC機械增壓泵還廣泛應用于分析設備和泄漏測試系統(tǒng)中。在這些精密設備中，機械增壓泵提供快速、可靠的真空環(huán)境，保證測試結果的準確性。

05 技術規(guī)格：核心參數(shù)詳解

ULVAC機械增壓泵的各系列產(chǎn)品都有其特定的技術規(guī)格，滿足不同應用場景的需求。

以PMB-040C和PMB-060C型號為例，大抽速分別達到3，800立方米/小時和6，200立方米/小時（50Hz情況下）。這些型號的大吸氣壓力為8.0×102Pa，極限壓力可達6.7×10-1Pa。

PMB-D系列覆蓋了更廣的容量范圍，PMB100D的大排氣速度為95立方米/小時（50Hz），而PMB2400D則高達2，000立方米/小時（50Hz）。該系列的大允許壓差也從8.0×103Pa（PMB100D）到3.5×103Pa（PMB1200D）不等。

PRC系列的排氣速度從PRC-003A的280立方米/小時到PRC-018A的1，500立方米/小時（50Hz情況下）。該系列的大吸入壓力約為1.2×103Pa，極限壓力為4.0×10-1Pa至6.7×10-1Pa。

在冷卻方式上，不同系列的ULVAC機械增壓泵也有所區(qū)別。PMB系列通常采用水冷方式，冷卻水溫度要求在5-30℃之間。而PMB-D系列的部分型號可以實現(xiàn)空冷運行，大大簡化了安裝和維護。

06 系統(tǒng)集成：真空系統(tǒng)解決方案

ULVAC不僅提供單獨的機械增壓泵，還提供包括機械增壓泵和油旋轉真空泵在內(nèi)的完整排氣單元，如YMV系列。

YMV系列采用了重視維修性的獨立架臺設計，非常適合在生產(chǎn)設備中使用。該系列根據(jù)泵排量有4種類型可選擇，為用戶提供了全面的真空解決方案。

在真空系統(tǒng)中，ULVAC還提供多種選件以增強系統(tǒng)功能和適應性，包括油霧過濾器，用于清除從油回轉真空泵中排出的油煙。

延遲真空電磁閥則可以抑制在停止時油回轉真空泵的油逆流到吸氣口。冷卻水流量開關能夠監(jiān)控泵的冷卻水量，避免因缺乏冷卻水而造成的問題。

對于機械增壓泵在大氣壓下驅動的情況，ULVAC提供專用的變頻器選件。這些選件與機械增壓泵配合使用，優(yōu)化了整個真空系統(tǒng)的性能和可靠性。

07 選型與維護：確保性能的關鍵

選擇合適的ULVAC機械增壓泵并正確維護，是確保其長期穩(wěn)定運行的關鍵。

在選型時，需要考慮多個因素：排氣速度要求決定了泵的型號大小，根據(jù)應用場景的大氣體負載來選擇。工作壓力范圍也是一個關鍵因素，確保泵在高效區(qū)內(nèi)運行。

氣體性質(zhì)同樣重要，對于腐蝕性氣體，需要選擇具有表面處理型號的泵。空間限制也不可忽視，根據(jù)現(xiàn)場空間選擇適合的安裝方式。

在維護方面，ULVAC機械增壓泵雖然設計可靠，但仍需定期維護以確保佳性能：油位和油質(zhì)檢查是基礎，定期檢查油位和油質(zhì)，按推薦周期更換潤滑油。

冷卻系統(tǒng)維護也很關鍵，確保水冷系統(tǒng)的流量和水溫在要求范圍內(nèi)。清潔與 inspection則是常規(guī)工作，定期清潔泵外部，檢查是否有異常振動或噪音。

對于在高負荷條件下運行的泵，如在高吸入壓力下連續(xù)運行且經(jīng)常在大氣和真空中反復排氣的情況，建議選擇高負荷油霧過濾器，以保護泵并延長其使用壽命。

從半導體芯片的微觀世界到大型工業(yè)熱處理設備，ULVAC機械增壓泵以其的性能和可靠性，為現(xiàn)代制造業(yè)提供了堅實的真空技術基礎。

隨著新材料、新工藝的不斷涌現(xiàn)，ULVAC愛發(fā)科將繼續(xù)推動機械增壓泵技術的創(chuàng)新，在追求更高真空、更高效率、更高可靠性的道路上不斷前行，為制造業(yè)的發(fā)展提供強有力的支持。