在精密制造與科研領(lǐng)域，真空環(huán)境的純凈度與穩(wěn)定性直接決定工藝成果，大阪真空低噪音螺桿干泵以其創(chuàng)新的技術(shù)與的性能，重新定義了清潔真空的標(biāo)準(zhǔn)。

在半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥和科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域，傳統(tǒng)油封式真空泵帶來的污染問題一直困擾著行業(yè)。油蒸氣返流、設(shè)備維護(hù)頻繁且運(yùn)行成本高昂，限制了精密工藝的進(jìn)一步發(fā)展。

大阪真空機(jī)器制作所推出的DSP系列低噪音螺桿干泵，采用無油設(shè)計(jì)與螺桿技術(shù)，不僅解決了污染難題，更以低噪音、低振動(dòng)的特性為潔凈環(huán)境設(shè)立了。

01 產(chǎn)品概述：重新定義清潔真空標(biāo)準(zhǔn)

大阪真空低噪音螺桿干泵代表了真空獲取技術(shù)的重大進(jìn)步。這類干式真空泵能從大氣壓力下開始抽氣，并將被抽氣體直接排到大氣中。

泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，同時(shí)泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)甚至更優(yōu)。

DSP系列包括DSP251、DSP501等型號(hào)，繼承了原有DSP系列小型輕巧、便于搬動(dòng)的特點(diǎn)，同時(shí)優(yōu)化了內(nèi)部結(jié)構(gòu)，提供更穩(wěn)定、更值得信賴的性能。

該系列產(chǎn)品專門為研究開發(fā)、鍍膜、醫(yī)療等領(lǐng)域設(shè)計(jì)，滿足了這些行業(yè)對(duì)超高真空環(huán)境和無污染排氣的嚴(yán)格要求。

02 工作原理：螺桿創(chuàng)新的核心技術(shù)

大阪真空低噪音螺桿干泵的核心技術(shù)在于其精密的螺桿設(shè)計(jì)。這種干式螺桿真空泵利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用。

精密嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子經(jīng)過精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中。螺桿與螺桿之間保持精確的間隙，泵工作時(shí)相互之間無直接接觸摩擦，從而實(shí)現(xiàn)了平穩(wěn)運(yùn)行與低噪音。

獨(dú)特的工作流程使氣體在泵內(nèi)經(jīng)歷吸氣、傳輸和排氣的過程。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，每對(duì)相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán)，氣體被連續(xù)地從進(jìn)氣口推向排氣口。

與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比，這種設(shè)計(jì)無需在工作腔使用潤滑油，避免了油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)和工藝過程的污染，實(shí)現(xiàn)了真正的清潔真空。

03 性能特點(diǎn)：技術(shù)優(yōu)勢的綜合體現(xiàn)

低噪音與低振動(dòng)

大阪真空DSP系列采用螺桿型轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，有效防止排氣脈沖，大幅降低了運(yùn)行時(shí)的振動(dòng)和噪音。

轉(zhuǎn)子組件省略了同步齒輪的設(shè)置，實(shí)現(xiàn)了無噪音排氣。泵體還配備了專業(yè)隔音罩，進(jìn)一步降低了運(yùn)行噪音，為實(shí)驗(yàn)室和潔凈車間提供了安靜的工作環(huán)境。

潔凈排氣與無污染

DSP系列干泵實(shí)現(xiàn)了無油的真空環(huán)境，沒有油蒸氣或粒子的逆流問題。這一特性對(duì)于半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥等對(duì)清潔度要求高的領(lǐng)域至關(guān)重要。

工作腔內(nèi)無任何介質(zhì)，可獲得清潔真空，避免了傳統(tǒng)真空泵可能帶來的污染問題。

高效節(jié)能與便捷性

大阪真空DSP系列采用省電設(shè)計(jì)，能耗顯著低于傳統(tǒng)真空泵。空冷規(guī)格的設(shè)計(jì)使其僅需電力即可運(yùn)行，無需額外的冷卻水系統(tǒng)，大大簡化了安裝和使用要求。

內(nèi)置的旁通系統(tǒng)使泵在大氣壓附近具有更快的排氣速度，提高了工作效率。

維護(hù)簡單與長壽命

由于轉(zhuǎn)子組件無直接接觸和摩擦，DSP系列實(shí)現(xiàn)了免維修運(yùn)行，無需更換軸封及潤滑油。

標(biāo)準(zhǔn)配置的氣鎮(zhèn)功能能有效避免水蒸氣在真空泵中凝結(jié)，延長了泵的使用壽命。

04 技術(shù)規(guī)格：精準(zhǔn)運(yùn)行的參數(shù)保障

大阪真空DSP系列干泵符合國際規(guī)格，包括CE、SEMI、NRTL標(biāo)準(zhǔn)，確保了范圍內(nèi)的兼容性和可靠性。

以類似規(guī)格的螺桿干泵為例，這類泵的極限真空度可達(dá)1Pa以下，抽氣速率覆蓋多種應(yīng)用需求。

具體到不同型號(hào)，例如NeoDry7G抽氣速率為110L/min，而NeoDry36G可達(dá)600L/min，滿足從實(shí)驗(yàn)室到工業(yè)生產(chǎn)的各種需求。

低噪音性能是其突出特點(diǎn)，一些在極限壓力下的噪音值可控制在45-51分貝，遠(yuǎn)低于傳統(tǒng)工業(yè)設(shè)備。

05 應(yīng)用領(lǐng)域：多行業(yè)的關(guān)鍵解決方案

半導(dǎo)體與電子產(chǎn)業(yè)

在半導(dǎo)體制造過程中，DSP系列干泵為鍍膜、刻蝕和負(fù)載鎖定室等工藝提供可靠的真空環(huán)境。

其潔凈排氣的特性防止了油蒸氣對(duì)晶圓的污染，顯著提高了產(chǎn)品良率和性能。

醫(yī)藥與生物技術(shù)

制藥行業(yè)的真空干燥、冷凍干燥和生物制品制備過程中，DSP干泵確保了無污染的生產(chǎn)環(huán)境。

對(duì)于藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范要求嚴(yán)格的制藥企業(yè)，這種無油設(shè)計(jì)避免了產(chǎn)品污染風(fēng)險(xiǎn)，符合行業(yè)監(jiān)管要求。

科研與工業(yè)領(lǐng)域

在科研領(lǐng)域，DSP干泵廣泛應(yīng)用于分析儀器、實(shí)驗(yàn)裝置和科研設(shè)備中，為科學(xué)研究提供可靠的真空條件。

工業(yè)領(lǐng)域的真空熱處理、化工工藝和材料處理等應(yīng)用也大量采用這種清潔、低噪音的干泵解決方案。

06 創(chuàng)新進(jìn)展：DSP NEW SERIES的技術(shù)突破

2019年8月，大阪真空機(jī)器制作所正式發(fā)布了新型空冷式干式真空泵DSP NEW SERIES，包括DSP251、DSP501等型號(hào)。

新型DSP系列在保留原有產(chǎn)品小型輕巧、便于搬動(dòng)、低震動(dòng)、低噪音、節(jié)能環(huán)保等優(yōu)點(diǎn)的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步優(yōu)化了內(nèi)部結(jié)構(gòu)，提供了更穩(wěn)定的性能。

這一系列產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了真正的免維修，為用戶提供了更可靠、更經(jīng)濟(jì)的解決方案。

新系列產(chǎn)品進(jìn)一步強(qiáng)化了節(jié)能特性和潔凈排氣能力，內(nèi)置旁通系統(tǒng)在大氣壓附近提供了更快的排氣速度，滿足了制造業(yè)對(duì)效率和性能的更高要求。

07 操作與維護(hù)：簡便高效的使用體驗(yàn)

安裝與啟動(dòng)

大阪真空DSP系列干泵設(shè)計(jì)緊湊，支持壁式安裝或柱式安裝，適應(yīng)不同空間限制。

啟動(dòng)前需檢查電源電壓，確認(rèn)轉(zhuǎn)向正確。在無負(fù)載情況下運(yùn)轉(zhuǎn)泵20-30分鐘，檢查是否有不正常的震動(dòng)和溫升。

日常操作

操作過程中需監(jiān)控軸承溫度、潤滑劑狀況和冷卻系統(tǒng)，確保泵在正常條件下運(yùn)行。

通過觀察電流表指示，可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常情況。若出現(xiàn)轉(zhuǎn)子碰撞或摩擦，應(yīng)立即停機(jī)檢查。

維護(hù)要點(diǎn)

雖然DSP系列設(shè)計(jì)為免維修，但仍需定期檢查。若抽除腐蝕性氣體，在關(guān)機(jī)前應(yīng)清理泵內(nèi)部，避免殘留物腐蝕泵體。

使用高質(zhì)量潤滑油對(duì)于軸承和齒輪的壽命至關(guān)重要，應(yīng)選擇具有抑制氧化、防銹、低飽和蒸汽壓特性的產(chǎn)品。

大阪真空低噪音螺桿干泵通過其創(chuàng)新的無油設(shè)計(jì)和精密螺桿技術(shù)，成功解決了傳統(tǒng)真空泵在精密制造與科研領(lǐng)域的應(yīng)用瓶頸。

隨著半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥等產(chǎn)業(yè)對(duì)清潔真空需求的不斷增長，這種低噪音、無污染、高效節(jié)能的干式真空泵將成為更多行業(yè)，推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級(jí)向前邁進(jìn)。